Машина за разређивање плоча од силицијум карбида се углавном користи за разређивање материјала подлоге као што су силицијумске плочице, галијум арсенид, силицијум карбидна керамика, цирконијум керамика, графит, литијум танталат и тако даље.
Вертикалне машине за млевење плочица високе прецизности могу да мељу полупроводничке материјале треће генерације као што су СиЦ, ГаН, ГаАс, Си, ЗнО. ДЛ-ГСД серија је самопроизведена машина за млевење у Кини, а њене перформансе су достигле светски стандард.